細分技術(shù)
隨著對測量精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿足要求,需要采取適當?shù)拇胧⿲δ獱枟l紋進行細分。所謂細分就是在莫爾條紋信號變化一個周期內(nèi),發(fā)出若干個脈沖,以減少脈沖當量。如一個周期內(nèi)發(fā)出n個脈沖,則可使測量精度提高n備,而每個脈沖相當于原來柵距的1/n。由于細分后計數(shù)脈沖頻率提高了n倍,因此也稱n倍頻。
通常用的有兩種細分方法:其一、直接細分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個光電元件,可得到兩個相位差90o的電信號,用反相器反相后就得到四個依次相差90o的交流信號。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個相位差90o的交流信號,實現(xiàn)四倍頻細分。其二、電路細分。
辨向原理
在實際應(yīng)用中位移傳感器具有兩個方向,即選定一個方向后,位移有正負之分,因此用一個光電元件測定莫爾條紋信號確定不了位移方向。為了辨向,需要有π/2相位差的兩個莫爾條紋信號。在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個光電元件,得到兩個相位差π/2的電信號u01和u02,經(jīng)過整形后得到兩個方波信號u01’和u02’。光柵正向移動時u01超前u0290度,反向移動時u02超前u0190度,故通過電路辨相可確定光柵運動方向。
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